Phòng Sạch - Nhật Hoa

Nhật Hoa cung câp các trang thiết bị cho [You must be registered and logged in to see this link.] với các thiết bị hiện đai. Với kinh nghiệm lâu năm trong lĩnh vực công nghệ cao, chung tôi sẽ cung cấp cho các bạn các thiết bị và công gnheej tốt nhất


[You must be registered and logged in to see this link.] có diện tích là 1002 có độ sạch 10. 000, có nơi có độ sạch 100 như trong phòng vàng. [You must be registered and logged in to see this link.] là nơi để các cán bộ, nghiên cứu sinh, học viên cao học và sinh viên đại học nghiên cứu, chế tạo các loại cảm biến khác nhau.



Phòng sạch được chia ra làm ba phòng nhỏ:

1) Phòng xám (grey room): hay còn gọi là service room, là nơi tập trung các thiết

bị như máy bơm chân không (vacuum pump), hệ nước siêu sạch (DI water), lò oxi hoá/khuếch tán (furnace 1), lò ôxi hoá số chất lượng cao (furnace 2), hệ lắng đọng hoá học tạo màng ở áp suất thấp (LPCVD), hệ thống nước làm lạnh, khí N2, ....

2) Phòng trắng (white room): là nơi chứa các thiết bị đo đạc khác như hệ đo độ dầy màng mỏng (ellipsometer), hệ xác định bề sâu khuếch tán (junction depth)

3) Phòng vàng (yellow room): là nơi có độ sạch lớn nhất trong [You must be registered and logged in to see this link.]. Phần lớn các quy trình công nghệ khi chế tạo sensor được thực hiện trong phòng này. Phòng bố trí 01 tủ công nghệ được trang bị quạt hút công suất lớn đảm bảo an toàn cho người làm cùng với các dụng cụ phụ trợ khác cho quá trình công nghệ cũng được trang bị đầy đủ. Bên cạnh đó chúng ta có máy quang khắc (photolithographer) để phục vụ cho các quá trình quang khắc, kính hiển vi quang học (microscope) để kiểm tra chất lượng của mỗi bước công nghệ được thực hiện. Hệ thống máy rửa dùng siêu âm đảm bảo cho các dụng cụ thí nghiệm luôn sạch sẽ, các lò sấy lập trình được, hệ quay ly tâm, hệ thiết bị phục vụ cho việc chế tạo vật liệu Sil-Gel làm nguồn khuếch tán, vật liệu phát quang và các vật liệu khác.



Hiện nay, được sự quan tâm của Nhà nước và của Bộ Giáo dục và Đào tạo, [You must be registered and logged in to see this link.] tại trung tâm đang được nâng cấp dần các thiết bị hiện đại nhất để phục vụ nghiên cứu và đào tạo. Phòng sạch luôn chào đón những nhà nghiên cứu, các bạn sinh viên cao học và sinh viên đại học của tất cả các trường đại học và các cơ sở nghiên cứu về học tập và nghiên cứu.

[You must be registered and logged in to see this link.],
[You must be registered and logged in to see this link.],
[You must be registered and logged in to see this link.],
[You must be registered and logged in to see this link.],
[You must be registered and logged in to see this link.],
[You must be registered and logged in to see this link.],
[You must be registered and logged in to see this link.],
[You must be registered and logged in to see this link.],[You must be registered and logged in to see this link.],[You must be registered and logged in to see this link.],
[You must be registered and logged in to see this link.],
[You must be registered and logged in to see this link.],[You must be registered and logged in to see this link.],
[You must be registered and logged in to see this link.], [You must be registered and logged in to see this link.], [You must be registered and logged in to see this link.], [You must be registered and logged in to see this link.], [You must be registered and logged in to see this link.], [You must be registered and logged in to see this link.], [You must be registered and logged in to see this link.], [You must be registered and logged in to see this link.], [You must be registered and logged in to see this link.], [You must be registered and logged in to see this link.], [You must be registered and logged in to see this link.], [You must be registered and logged in to see this link.], [You must be registered and logged in to see this link.], [You must be registered and logged in to see this link.], [You must be registered and logged in to see this link.], [You must be registered and logged in to see this link.]